第三千一百三十七章关键的PAS5500

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    “你想说台积电火灾那次是吧？”
    “是啊，台积电诞生时是台岛工研院和飞利浦的合资公司。在台积电里，飞利浦占27.5%股分，是最大外部股东。因此飞利浦才会毫无保留地把MEGA生产线开放给台积电学习，然后再原封不动地把整条生产线搬到台湾给台积电。”
    “意外的是88年底新生产线快装好的时候发生了火灾。台积电把所有被烟熏了的光刻机退回ASML，重新下了十七台新机的订单。ASML刚好非常缺钱，这些订单在关键时刻救了急。而为火灾买单的保险公司成了ASML1989年最大的客户，让ASML第一次实现盈利。”胡长风说道：“所以说命好有时候也是一种能力。”
    “哈哈哈，再后来就是1992年，飞利浦来大陆了。”
    “这个我就太熟悉了。”胡长风说道：“当时沪上元件五厂、上无七厂和上无十九厂与飞利浦公司洽谈合资，成立了沪上飞利浦半导体公司，在漕河泾建成我国第一条5英寸Foundry线。打破了我国没有Foundry线的历史。这个事情当时就是我主抓。”
    “说起来也是可恨，当时我们也想引进PAS2500来着，但是单线500万美金的价格，实在是太高了，加上我们当时根本就没有配套的6英寸晶圆生产能力，最后不得不选择已经处于淘汰边缘的5英寸线。”说起创业史，胡长风除了唏嘘还是唏嘘。
    “5英寸也很不错了，虽然做不了超大，但是起码解决了LSI生产的问题，为我们的存储芯片事业打下了坚实基础。”周至笑道：“现在金融业和各个单位尝到了甜头，国内各类存储卡的需求激增，那条线现在都忙不过来了吧？”
    “嗯，接下来，就该是从六英寸过渡到八英寸的那一关而来吧？”胡长风说道：“我们的809工程，其核心就是引进一条八英寸芯片生产线。结果差点栽到里头。”
    “也不能完全怪决策。”周至到现在倒是想明白了：“当年这个项目出问题，还有一个重要原因，那就是后续的投资没有跟上，IBM为这个生产线，可是豪砸了10亿美金，而我们一国的外汇储备，前年也才百亿美元，真没多余的钱做后续。”
    “好在是熬过来了。”胡长风说道：“顺便还给产品升了个级，没被国际水平甩开太远。”
    “对，获得八英寸晶圆生产线是关键。”周至说道：“有了这个基础，我们引进三星产品线和松下闪存技术，进行存储芯片生产才有了可能。不过在光刻机领域，日系的运气就不如欧系了。”
    “从6英寸制程过渡到8英寸的过程中，从G线到I线的技术演进中，两家日本公司犯了一个错误。尼康和佳能计划跳过365nm的i线，直接从465nm的G线过渡到KrF的248nm的激光。”
    “这是一个无比超前的计划，如果成功，光刻机将直接进入DUV时代。”
    “不过他们低估了DUV的技术难度。两家公司的设备无法顺利通过测试，体积和耗能均非常大，而且没有对应的DUV光刻胶，最终被迫回头，重启365nm的i线设备研发。”
    “而ASML却稳扎稳打，他们继续研发了基于I线光源的PAS5500光刻机，但是将涉及架构更换成了可以改进的新机器架构。”
    “这个架构的设计非常灵活，镜头和光源可以快速更换，先期匹配高分辨率i线光源，后期再匹配DUV镜头的KrF激光器，一举取得了先发优势。”
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    “在晶圆台研发上，PAS5500也没有一开始就决定到底是使用H型晶圆台，还是长短冲程发动机。而是同样保留了两路适配架构，这是意义非常的方法。”
    “PAS5500这种模块化设计使得客户可以根据不同工艺随意选配不同部件包，可以涵盖了i线和KrF各种光源，4到12英寸各种晶圆尺寸，i线和KrF各种镜头，stepper和scanner各种投影模式。成了所有芯片制造商的梦中情机！”
    “你的意思，是我们也要像三星和台积电那样，大量进口这款光刻机？PAS5500现在一台多少钱？”
    “PAS5500现在的子型号太多，价格可以从500万美元到700万美元不等。”周至说道：“如果要兼顾我们产业在未来的发展我们需要配置适合加工6英寸，8英寸，12英寸晶圆，光源和镜头适配465nm的G线，365nm的i线和248nm的KrF三种光源的光刻机。”
    “同时我们还得要求飞利浦公司按照对待台积电的标准，对我们开放MEGA生产线的技术学习。”周至说道：“为我们未来自主设计和生产做好准备。”
    “三种晶圆，三种光源，三种镜头，组合一下，一样一套都是9套。”胡长风沉吟道：“你的意思我能够明白，我们家底薄，5英寸6英寸的生产线，不可能在引进完8英寸，未来还可能引进12英寸后就不用了，未来国内的中低端芯片，还得依靠中低端光刻机负责生产，起码二三十年都不会淘汰。不过你说的KrF光源，鬼子都没搞出来的东西，我们现在的能力，做得到吗？”
    “没办法，总要自己做的，而且我们还必须尽快做。”周至说道：“随着国际局势的变化，瓦森纳协定就如悬在我们头顶的一把利剑，迟早会掉落下来的。我们必须在别人卡脖子之前，趁现在还有未关上的窗口，抓紧完成布局！”
    “即便是现在，我们要ASML开放MEGA生产线，他们也不会乖乖听话吧？”胡长风说道：“即便是我们决定引进几条PAS5500。”
    “或许也不是太难。”周至却露出了意味深长的微笑。
    “哦？你小子是不是又有什么招数了？”胡长风问道。
    “也算是运气吧。”周至笑道：“现在ASML的最大外部股东，是安盛基金，掌握着ASML百分之二十七的股份。”
    “啊？什么时候的事情？这戏法又是怎么变出来的？”胡长风大吃一惊。
    “ASML的发展也不是一帆风顺的，它也经历过好几次生死危机。”周至笑道：“ASML成立于19884年，尽管脱胎于飞利浦，但是在成立之后的10年间都不曾盈利，持股的飞利浦和ASM在前年都失去了信心，因为吃不消这无止境的烧钱，ASM把持有的股份都卖了，还是亏了3500万美元卖的。”
    “正在信息产业领域寻找投资机会的安盛基金适时接手了，那一次，我们拿到了14%的股份。”
    “ASML的第二次危机是来自和蔡司的合作。蔡司本身是和肖特绑定的，重大投资必须由两家公司一起做出决定，而蔡司当时处于亏损，完全依赖姐妹公司肖特输血。”

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第三千一百三十七章 关键的PAS5500

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